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JXA-8230型电子探针

作者:        发布于:2012-02-23

  型号:JXA-8230

  生产国别厂家:日本电子株式会社

  主要技术指标:

  1. 电子光学系统

    二次电子像分辨率:5nm

    背散射电子像分辨率:20nm(拓扑像、成分像), 成分分辨足以清晰分辨α / β黄铜

    电子枪:LaB6发射枪,预对中灯丝

    加速电压:0 ~ 30kV

    束流范围:10-5 ~ 10-12A

    图像放大倍数:×40~×300,000,连续可调;

  2. 波谱系统

    分析元素:5B - 92U

    分析精度:好于1%(主元素, 含量>5%)和5%(次要元素, 含量~1%)

    分析速度:自动全元素定性分析时间≤60秒,可以自动识别0.1 wt%以上的元素

  原理:  
    用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品微区(微米级)元素的特征X射线,分析特征X射线的波长(或特征能量)即可知道微区中所含元素的种类(定性分析), 分析X射线的强度,则可知道微区中对应元素含量的多少(定量分析)。

  应用: 
    1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分鉴定。

  2、金银饰品、宝石首饰的鉴别,考古和文物鉴定,以及刑侦鉴定等领域。

  3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析。

  4、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析,如:金属化膜表面镀层的检测。

  5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

 

  X射线显微分析系统(能谱仪)(EDS):作为电子探针的附件配置在JXA-8230型电子探针上使用

  型号: Inca X-Act型电制冷能谱仪  

  生产国别厂家: 英国牛津公司 

  主要技术指标:分辨率:优于129eV;MK峰背比:20,000:1; 

  元素探测范围:探测到低至硼(包括硼)的所有元素

  主要用途:元素的定性、定量分析、线、面分布等,Inca X-Act型电制冷能谱仪无需添加液氮,方便快捷,具有图像及成分图的能谱分析系统,具有分辨率高和定性、定量准确等特点。

 

  电子探针样品要求:

  1. 成分定量分析要求样品表面抛光

  2. 最大尺寸:方形样品小于10mm×10mm×10mm

  圆形样品 小于 f10mm×10mm   

  

 

  电子探针试样制备方法

  1.粉体试样制备:

     粉体用环氧树脂等镶嵌材料混合后,进行粗磨、细磨及抛光方法制备。

  2. 块状试样:

    块状试样,特别是测定薄膜厚度、离子迁移深度、背散射电子观察相分布等试样,可以用环氧树脂等镶嵌后,进行研磨和抛光。较大的块状试样也可以直接研磨和抛光,但容易产生倒角,会影响薄膜厚度及离子迁移深度的测定,对尺寸小的试样只能镶嵌后加工。

    对多孔或较疏松的试样、腐蚀产物等,需采用真空镶嵌方法。

    真空镶嵌方法:

    将试样用环氧树脂胶浸泡,在50°-60°C时放入低真空容器内抽气,然后在60°C恒温烘箱内烘烤4h,即可获得坚固的块状试样。这可以避免研磨和抛光过程中脱落,同时可以避免抛光物进入试样孔内引起污染。

  3.试样研磨、抛光

    试样研磨、抛光时,要根据试样材料选用不同粒径、材料的抛光粉,例如Al2O3、SiC、Cr2O3、金刚石研磨膏等。抛光粉的粒径从0.x微米——几十微米,抛光后必须把抛光粉等污染物用超声波清洗机清洗。需要腐蚀的试样应浅腐蚀,腐蚀后必须把腐蚀剂和腐蚀产物冲洗干净,以免产生假象。对易氧化或在空气中不稳定的试样,制备后应立即分析。试样应防止油污和锈蚀对试样的污染。

  4.对特殊试样,例如生物试样、软试样、含水等矿物试样,要用特殊的制样方法。矿物岩石试样的制备方法已有国家标准(GB/T 17366-1998)。标准规定了光片、光薄片、颗粒等试样的制备方法。该标准基本适用于无机材料的试样制备。

 

 

 

 

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