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扫描电子显微镜

作者:        发布于:2010-09-11

  型号:JSM-5610LV

  生产国别厂家:日本电子株式会社

  主要技术指标

    高真空模式分辨率:3.0nm;

    低真空模式分辨率:4.0nm

    放大倍数: 18X300,000X

    加速电压: 0.5KV-30KV

    低真空度:1Pa270Pa

    图像种类:二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像。 

    图像输出方式:存盘、打印、照像。

  原理及应用:扫描电子显微镜是利用电子枪射出的高能电子束,在试样表面作行帧扫描,激发出各种物理信号,这些信号的强度取决于试样表面特征的扫描电子图像。JSM-5610LV扫描电子显微镜主要用的工具。JSM-5610LV扫描电子显微镜配有低真空系统,对非导电样品可以直接进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门,低真空技术有着突出的作用;对于生物样品,如组织、脂肪、花粉和根茎等,经过特有的简单处理后,也可以直接观察。

 

  X射线显微分析系统(能谱仪)EDS作为扫描电镜的附件配置在JSM-5610LV型扫描电镜上使用。

  型号:Phoenix   

  生产国别厂家:美国通用公司(EDAX

  主要技术指标:分辨率:优于129cV

    MK峰背比:20,000:1; 

  元素探测范围:探测到低至铍(包括铍)的所有元素

  主要用途元素的定性、定量分析、粒度分析、相分布及图像处理,P hoenix能谱仪是具有图像及成分图的能谱分析系统,具有分辨率高和定性、定量准确等特点。

        

  Model: JSM-5610LV

  Manufacturer: JEOL Ltd., Japan

  Main specifications: Hv Mode Resolution: 3nm

      

  LV Mode Resulution:4nm

  Magnification :18X300,000X

  Accelerating voltage :0.5Kv30kV

  Low Vacuum Degree :127Pa

    Energy Dispersive Spectrometer (EDS)

  EDS is used on JSM-5610LV as its accessory

  Model: Phoenix

  Manufacturer: EDAX, U. S. A

  Main Specifications: Resolution:127eV

  MnK ratio of peak to background: 20,000:1

  Element probing range: All elements (expect H. He .Li)

  Main applications: Quantitative and qualitative analysis of elements, particle analysis, phase distribution and image handling. Phoenix EDS provides an image and composition graph with a best resolution and high accuracy.

  

  测试人员:

  

  牟善彬,男,高级工程师,长期从事扫描电镜分析测试工作,具有丰富的理论实践经验。

  联系电话:027-87651843转8112

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